Obrazowanie powierzchni nanoelementów z atomową rozdzielczością, nanolitografia, nanomanipulacja z wykorzystaniem różnych trybów pomiarowych: kontaktowy, pół-kontaktowy oraz bezkontaktowy AFM, przewodnictwo elektryczne, mikroskopia pojemnościowa, rozkład ładunk elektrycznego, rozkład pola magnetycznego, rozkład potencjału powierzchniowego (sonda Kelvina), pomiar temperatury, przewodnictwa temperaturowego oraz sił tarcia, obrazowanie fazowe, STM, SNOM odbiciowy.
- System mikroskopii sił atomowych (SPM NT-MDT NTEGRA Prima) – skanowanie sondą lub próbką.
- System optyczny zintegrowany z kamerą CCD.
- Stół antywibracyjny – izolacja aktywna i pasywna.
Kontrolowane i powtarzalne osadzanie warstw techniką rozpylania magnetronowego oraz niskotemperaturowego (materiały organiczne) i wysokotemperaturowego naparowania termicznego.
- Napylarka próżniowa (PVD system PREVAC) – komora reakcyjna 50 litrów, kontrola grubości warstw, przesłona źródeł.
- Źródła magnetronowe – zasilacz RF i DC.
- Wysokotemperaturowe źródła termiczne – napylanie sekwencyjne.
- Niskotemperaturowe źródła termiczne – naparowanie materiałów organicznych.
- System próżniowy – dwie kompletne linie gazowe.
- Piec kwarcowy